特征：                                                            应用：

直线度可达10um                                              半导体设备
X轴6m Y轴0.5m行程                                   自动化搬送
以线性滑轨架构之定位平台                                 FPD设备
良好接地设计防止杂讯干扰                                 太阳能製造设备
Z向震动可达奈米等级以下                                  PCB设备
速度可达5m/s                                            水刀设备
标准重现精度1um或以下                                    鑽石切割产业
位置回馈系统解析度可达50nm                      AOI检测设备
                                                                     工具机